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接觸角測(cè)量?jī)x阿莎算法

更新時(shí)間:2024-07-19       點(diǎn)擊次數(shù):1947
  接觸角測(cè)量?jī)x是界面化學(xué)領(lǐng)域用于測(cè)試并評(píng)估固體以及固液界面物理化學(xué)性質(zhì)的基礎(chǔ)儀器,自1946年zisman教授團(tuán)隊(duì)發(fā)明以來(lái),歷經(jīng)多年發(fā)展,長(zhǎng)期以來(lái)停留在量角器階段。隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展,過(guò)程中有日本、德國(guó)、美國(guó)的儀器廠商實(shí)現(xiàn)了量角器的簡(jiǎn)單量角、WH法向圓和橢圓階段的發(fā)展,但其仍不改變其數(shù)碼量角器的本質(zhì)。自1983年A.W.Neumann教授團(tuán)隊(duì)提出ADSA-P算法以來(lái),接觸角的測(cè)量真正進(jìn)入了界面化學(xué)的測(cè)量階段,其標(biāo)志性體現(xiàn)為將表面張力、接觸角、界面張力以及重力、浮力等綜合參與運(yùn)算分析并得出表面張力和接觸角值。與此同時(shí),接觸角測(cè)量?jī)x商業(yè)化的儀器中出現(xiàn)了兩個(gè)其他的代表,如Henson團(tuán)隊(duì)和SongbiHai團(tuán)隊(duì)(德系儀器)的基于Selectplane算法的Young-Laplace方程擬合算法。但無(wú)論是ADSA-P算法還是Young-Laplace方程擬合算法,其均存在軸對(duì)稱假設(shè),應(yīng)用于表面張力或界面張力等軸對(duì)稱條件下的測(cè)量則沒(méi)有問(wèn)題,但運(yùn)用于接觸角測(cè)量由于如下兩個(gè)原因形成的非軸對(duì)稱性測(cè)量則顯然是不可靠的。
 

 

  1、樣品上表面本身的水平度不好,由于重力作用導(dǎo)致左、右接觸角不一致;
 
  2、樣品本身的粗糙度、化學(xué)多樣性、異構(gòu)性等原因?qū)е碌慕佑|角左、右不一致。
 
  由于接觸角評(píng)估的重要性,需要提出更為可靠的接觸角測(cè)量新技術(shù)或算法。
 
  過(guò)程中,雖然美國(guó)科諾提出了真實(shí)液滴法(RealDrop)、雙圓切線法以及雙橢圓切線法(微分算法)等擬合圖像的算,但是,這些算法仍以簡(jiǎn)單的圖像幾何測(cè)量為基礎(chǔ),在測(cè)值時(shí)受液滴量、圖像的局部輪廓以及重力、表面張力影響,測(cè)值精度與可靠性均存在較大缺陷。
 
  阿莎算法(ADSA-RealDrop)算法基于整體輪廓Young-Laplace曲線,擬合整體輪廓的左、右不同角度值,其顯著特征為測(cè)值結(jié)果中顯示出左、右兩個(gè)不同的角度值,從而為真正意義上的固體材料物理化學(xué)性質(zhì)的測(cè)量提供了一個(gè)可靠的工具,是界面化學(xué)測(cè)量領(lǐng)域的一個(gè)里程碑意義的突破。
 
  從技術(shù)特征來(lái)講,阿莎算法可以實(shí)現(xiàn)單圖像多液滴的同時(shí)分析測(cè)量,從而將接觸角測(cè)量從2D真正進(jìn)化到3D時(shí)空。目前3D接觸角的測(cè)量可以為界面化學(xué)測(cè)量,材料物理化學(xué)性質(zhì)表征,材料表面清潔度測(cè)量等各種應(yīng)用提供科學(xué)、專業(yè)的工具。
 
  阿莎算法和3D接觸角測(cè)量?jī)x可以真正解決:
 
  1、單液滴即可以判斷出如芯片、晶圓、wafer、LED、LCD表面等離子清洗后(PLASMA)的效果;
 
  2、是目前為止解決接觸角滯后現(xiàn)象(表面粗糙度、化學(xué)多樣性、異構(gòu)性)的科學(xué)、合理的測(cè)值解決方案;
 
  3、是目前為止接觸角測(cè)量科學(xué)的表征方法。慣常的前進(jìn)角、后退角以及滾動(dòng)角的測(cè)值方案無(wú)法用于準(zhǔn)確描述材料本身的性質(zhì),而3D接觸角測(cè)量則可以為表征接觸角滯后提供一個(gè)全新的思維。
 
  4、全面提升了接觸角測(cè)量的精度。以往的所有算法中或受局部測(cè)點(diǎn)影響(如selectplane法受局部選點(diǎn)或面處的參數(shù)影響,切線法受接觸線位置噪聲影響、橢圓及圓擬合受整體輪廓軸對(duì)稱影響),在測(cè)值精度上均無(wú)法保證。而阿莎算法則基本真實(shí)液滴輪廓并運(yùn)用Young-Laplace方程進(jìn)行擬合分析,因而,在算法而言,阿莎算法是接觸角或水滴角測(cè)量的選擇。

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